微細加工

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複合ビーム加工観察装置

集束したガリウムイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。試料内部の所望位置を掘削し、任意の形状に加工できます。本装置では電子ビームによる試料観察もできます（SEM観察）。さらに、ガスを併用することで、任意の箇所でのデポジション薄膜形成（C?W?Ptの成膜）を行うことも可能です。